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高精度ガルバノスキャナMIRAMOTION
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オールデジタル方式ガルバノスキャナシステム MIRAMOTION
Galvanometer Scanner System with full digital control

高精度ガルバノスキャナMIRAMOTION
 
“ MIRAMOTION ” は、オールデジタル化を実現したガルバノスキャナシステムです。 温度および湿度によるドリフトを低減し、高い繰返し位置決 め精度でレーザを走査します。


<MIRAMOTIONの主な応用例>
●レーザマーキング装置
●レーザ加工機
●光造型装置 
●レーザ検査・測定装置


 
高精度ガルバノスキャナMIRAMOTION
MIRAMOTIONの主な特徴
オールデジタル制御により,高繰り返し位置精度を実現 (位置再現性: ±3μrad 以内)
新開発エンコーダにより,超高分解能と高精度を実現
(分解能:1.5μrad、角度非直線性:0.05%FS以下@光学角±40°)
環境変化による位置ドリフトを抑制(3μrad/℃以下)
Z軸を含む最大3軸とレーザを250μs周期で完全同期制御
8つのMCコマンドで、ガルバノとレーザーを簡単操作
デジタルオペレータの調整により、ミラーやスキャナモータのみでも交換可能
高精度アナログ指令入力対応スキャナで既存アプリソフトも流用可能

MIRAMOTIONの主な仕様

(1)モータ性能
モータ形式 2000S 2000M
適合ビーム径(φ) mm 〜15 15〜30
最大振れ角(機械角) deg ±20
ロータイナーシャ g・cu 4.5 6
トルク定数(N・m/A) N・m/A 0.0125 0.025
瞬間最大トルク N・m 0.045 0.09
瞬時最大電流値(PEAK) A 10
   
(2)ダイナミック性能
ドライバ型式 2000A 2000D
上位指令入力 アナログ
(±10V or 3V)
デジタル
(IEEE1394b)
角度分解能(機械角) 1.5μrad
繰り返し位置決め制度(機械角) ±3μrad
角度非直線性(FS@±40℃ 光学角) 0.05%以下
角度指令応答※ 1〜2.5kHz
オフセットドリフト 5μrad/℃ 3μrad/℃
ゲインドリフト 100PPM/℃ -
※ミラー、ミラーホルダ等の負荷に依存します
   
(3)コントローラ仕様
コントローラ形式 2000CD
上位通信 Ethernet(100Mbps、CAT5準拠)
ドライバ間通信   IEEE1394b
通信周期・伝送速度 250μs、400Mbps
最大伝送距離 10m
レーザ制御機能 PWM出力(100kHz、TTLレベル)
アナログ出力(0〜10V)
電源 DC24V±10%(72VA)
 
高精度ガルバノスキャナMIRAMOTIONに関するお問い合わせは、こちらのメールフォームからお願いします。

 




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