ソリューション機器＿高精度ガルバノスキャナMIRAMOTION＿株式会社ワイ・イーデータ


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高精度ガルバノスキャナMIRAMOTION

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オールデジタル方式ガルバノスキャナシステム	ＭＩＲＡＭＯＴＩＯＮ
Galvanometer Scanner System with full digital control

“ MIRAMOTION ” は、オールデジタル化を実現したガルバノスキャナシステムです。温度および湿度によるドリフトを低減し、高い繰返し位置決め精度でレーザを走査します。

＜MIRAMOTIONの主な応用例＞
●レーザマーキング装置
●レーザ加工機
●光造型装置　
●レーザ検査・測定装置

●	オールデジタル制御により，高繰り返し位置精度を実現 (位置再現性： ±3μrad 以内）
●	新開発エンコーダにより，超高分解能と高精度を実現 (分解能:1.5μrad、角度非直線性：0.05％FS以下@光学角±40°)
●	環境変化による位置ﾄﾞﾘﾌﾄを抑制(3μrad/℃以下）
●	Ｚ軸を含む最大3軸とレーザを250μｓ周期で完全同期制御
●	８つのMCコマンドで、ガルバノとレーザーを簡単操作
●	デジタルオペレータの調整により、ミラーやスキャナモータのみでも交換可能
●	高精度ｱﾅﾛｸﾞ指令入力対応ｽｷｬﾅで既存ｱﾌﾟﾘｿﾌﾄも流用可能

(1)モータ性能

モータ形式		2000S	2000M
適合ビーム径（φ）	mm	～15	15～30
最大振れ角（機械角）	deg	±20
ロータイナーシャ	g・ｃ㎡	4.5	6
トルク定数（N・m/A）	N・m/A	0.0125	0.025
瞬間最大トルク	N・m	0.045	0.09
瞬時最大電流値（PEAK）	A	10

(2)ダイナミック性能

ドライバ型式	2000A	2000D
上位指令入力	アナログ（±10V or 3V）	デジタル（IEEE1394b）
角度分解能（機械角）	1.5μrad
繰り返し位置決め制度（機械角）	±3μrad
角度非直線性（FS@±40℃ 光学角）	0.05%以下
角度指令応答※	1～2.5kHz
オフセットドリフト	5μrad/℃	3μrad/℃
ゲインドリフト	100PPM/℃	-

※ミラー、ミラーホルダ等の負荷に依存します

(3)コントローラ仕様

コントローラ形式		2000CD
上位通信		Ethernet(100Mbps、CAT5準拠)
ドライバ間通信		IEEE1394b
	通信周期・伝送速度	250μs、400Mbps
	最大伝送距離	10m
レーザ制御機能		PWM出力（100kHz、TTLレベル）
		アナログ出力（0～10V）
電源		DC24V±10%（72VA）

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